当两束相干光相遇时会产生干涉条纹，用光敏材料记录并形成光栅刻槽，条纹间距由两束光的夹角和波长确定。由于刻槽位置由干涉条件决定，所以用这种方式制作的光栅没有机械刻划造成的随机性和周期性误差。平面全息光栅母板刻线密度从1200 lines / mm 到4321  lines / mm ，使用波段为170-1800 nm 。还可以根据用户需要，制作新的全息光栅母板。